PHILLIPTECH-薄膜涂層領域的全場景膜厚監(jiān)測與石英晶體解決方案專家

01品牌簡介

Phillip Technologies是美國Colnatec膜厚監(jiān)測系統(tǒng)的獨家經(jīng)銷商，專注于為薄膜涂層領域提供優(yōu)質產(chǎn)品與服務。公司以“以具有競爭力的價格提供石英晶振和膜厚監(jiān)測系統(tǒng)，并提供快速簡便的購買體驗”為使命，銷售涵蓋替換石英監(jiān)控晶體、Colnatec薄膜監(jiān)控器和控制器等產(chǎn)品，所有石英晶體監(jiān)控器（QCM）均在美國南卡羅來納州十萬級潔凈室設施中制造，是客戶獲取薄膜涂層必需品的首選來源。

02核心產(chǎn)品

1.石英監(jiān)控晶體（QCM）：包括5 MHz和6 MHz兩種頻率，覆蓋Inficon、Balzers、Ulvac等類型的替換晶體，具體分為低溫/低應力（如6 MHz金晶體）和高溫/高應力（如合金RC晶體）選項，最高溫度額定值達500℃。

2.Colnatec薄膜監(jiān)控器和控制器：作為美國獨家經(jīng)銷商，提供Colnatec品牌的薄膜監(jiān)控與控制設備。

3.Tempe膜厚傳感器系統(tǒng)：Colnatec旗艦系統(tǒng)，可在40-500℃溫度范圍內(nèi)運行。

03產(chǎn)品介紹

1.“Balzers-Style” 5 MHz RC 石英晶體 – 14 毫米，單錨，高溫額定

產(chǎn)品介紹：這些5.000 MHz RC（輻射補償）AT切 quartz晶體針對需要在熱和工藝應力下具有卓越穩(wěn)定性的高性能沉積系統(tǒng)進行了優(yōu)化。由Phillip Technologies制造，具有單錨電極圖案，并且完全兼容Balzers、Evatec以及使用這種配置的其他傳統(tǒng)傳感器頭。

能夠在溫度范圍高達300°C的環(huán)境中運行，RC 晶體消除了標準石英在熱輻射、等離子體暴露或強濺射條件下常見的虛假速率峰值和測量不穩(wěn)定現(xiàn)象。

2.“Inficon-Style” 6 MHz AT-Cut 石英晶體 – 14 Mm

產(chǎn)品介紹：由Phillip Technologies設計和制造的這些6.000 MHz AT-cut石英晶體在薄膜沉積系統(tǒng)中提供高頻率穩(wěn)定性和精確性能。采用雙錨電極布局，它們與Inficon、Maxtek、Sigma Instruments、Sycon及其他使用這種行業(yè)標準配置的控制器完全兼容。

具有14毫米直徑，且頻率響應干凈可靠，這些晶體非常適合用于真空鍍膜、光學監(jiān)測以及在半導體、光子學和先進材料應用中的通用薄膜生長。

3.Phoenix™ 高溫膜厚傳感器，帶集成熱電偶

產(chǎn)品介紹：Phoenix™ 高溫膜厚傳感器專為在傳統(tǒng)傳感器失效的極端溫度環(huán)境中表現(xiàn)出色而設計。Phoenix 專為高通量過程（如 ALD、CVD 和 OVPD）設計，可在單一集成系統(tǒng)中提供穩(wěn)定、精確和耐用的性能。

溫度引起的頻率漂移——在標準傳感器頭中通常被忽視——在激進沉積過程中成為關鍵故障點。Phoenix 直接使用高精度嵌入式K型熱電偶在源處測量晶體溫度，使沉積腔在高達500°C的溫度下運行時能夠實時校正速率、厚度和頻率。當與Colnatec的Eon-LT™或Eon-ID™控制器配合使用時，用戶可以完全監(jiān)控并校正至0.001 Hz。

04核心優(yōu)勢

1.獨家代理Colnatec，提供行業(yè)領先的高溫膜厚監(jiān)測技術。

2.Tempe傳感器具備自清潔烘烤循環(huán)，顯著延長使用壽命，減少停機時間。

3.QCM產(chǎn)品覆蓋全溫區(qū)（最高溫度可至500°C），滿足多樣化工藝需求。

4.美國本土潔凈室生產(chǎn)，嚴格品控，確保高精度與長期穩(wěn)定性。

5.高性價比+快速供貨，提供便捷的一站式采購體驗。

05應用領域

主要應用于薄膜涂層生產(chǎn)流程，服務于需要適配不同溫度（40-500℃）、不同應力環(huán)境（低應力/高應力）的工藝場景，通過提供高精度監(jiān)控與控制設備，提升生產(chǎn)流程效率與穩(wěn)定性，減少因晶體故障導致的中斷。