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產(chǎn)品介紹
SS 316L結(jié)構(gòu)
10 µin.表面處理（25 µin.可選）
真空至3500 psig（241 bar）入口
1至300 psig（0.07至21 bar）出口
清洗，組裝和包裝用于高純度半導(dǎo)體應(yīng)用
流量
-標(biāo)準(zhǔn)至30 slpm
-HF選項為120 slpm
使用點應(yīng)用的首選調(diào)節(jié)器
旋鈕LOTO
規(guī)格參數(shù)
傳輸壓力：5至150 psig（0.34至10 bar）
耐壓：工作壓力的150％
爆破壓力：工作壓力的300％
流量系數(shù)（Cv）：0.09（可選0.15 HF）
內(nèi)部容積：0.49 in3（8 cm3）
端口：2口對接焊
閥體，噴嘴：SS 316L
隔膜：SS 316L
涂層：電拋光和鈍化
閥座：PCTFE（可選聚酰亞胺和PTFE）
入口/出口連接：1/4英寸面密封，母接頭
舷內(nèi)泄漏：2 x 10-10 sccs
舷外泄漏：2 x 10-9 sccs He
座椅泄漏：4 x 10-8 sccs
安裝面或面板（可選）
工作溫度：-40°至+ 160°F（-40°至+ 71°C）
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
