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產(chǎn)品介紹
用于激光故障注入的S-LMS顯微鏡站是集成電路安全評(píng)估的高精度平臺(tái)。它允許將激光點(diǎn)聚焦在芯片上并通過(guò)背面掃描樣品，以評(píng)估電子元件的安全級(jí)別。S-LMS顯微鏡允許注射、聚焦和掃描一個(gè)激光點(diǎn)至1米的點(diǎn)大小，同時(shí)用紅外攝像機(jī)從背面觀察樣品。
性能特點(diǎn)
980 和/或 1064 nm 的單模激光
脈沖亞納秒到連續(xù)波
時(shí)間精度 <8 ps
頻率高達(dá) 250 MHz
>92% 透射率
同軸紅外視覺(jué)
可以由Python控制和驅(qū)動(dòng)
可選功能與配件
光電發(fā)射選項(xiàng)
激光熱刺激選項(xiàng)
esDynamic軟件平臺(tái)
技術(shù)參數(shù)
單模光纖激光器
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PDM+/PDM+ HP |
PDM4+ and PDM4+ HP |
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脈沖持續(xù)時(shí)間 |
從1.5納秒到連續(xù)波 |
從1.5納秒到連續(xù)波 |
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峰值功率 |
高達(dá)3.2瓦 |
高達(dá)10瓦 |
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波長(zhǎng) |
980納米；1064牛米 |
980納米；1064牛米 |
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重復(fù)率 |
從單發(fā)到250兆赫 |
從單發(fā)到250兆赫 |
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命令接口 |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
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光束質(zhì)量 |
單模 |
單模 |
InGaAs 紅外相機(jī)
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Captor |
640x512 µm |
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動(dòng)態(tài)量程 |
140 dB |
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接口 |
USB(包含軟件) |
電學(xué)
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電壓 |
220 V/110 V |
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電流 |
16 A |
自動(dòng)位置調(diào)節(jié)系統(tǒng)
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軸數(shù) |
3 |
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行程范圍 |
52 mm |
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分辨率 |
0.315 µm |
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重復(fù)性 |
+/- 0.8 µm |
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速度（max.） |
20 mm/s |
產(chǎn)品應(yīng)用
故障注入
光發(fā)射
熱刺激
滬公網(wǎng)安備31011302006898號(hào)
