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          COHERENT準(zhǔn)分子激光器VarioLas Sweep

          產(chǎn)品介紹

          基于強(qiáng)大的 COMPex 準(zhǔn)分子激光器的系統(tǒng)是用于具有線光束或方形光束場形狀的高質(zhì)量 UV 微加工的靈活工具。

          光學(xué)設(shè)計(jì)、堅(jiān)固的機(jī)械結(jié)構(gòu)和具有脈沖間穩(wěn)定性的準(zhǔn)分子激光器可提供非常準(zhǔn)確的結(jié)果。應(yīng)用包括激光剝離 (LLO) 分離、摻雜劑離子激活、燒蝕圖案化和薄膜退火。

          性能特點(diǎn)

          • 高分辨率光學(xué)和機(jī)械結(jié)構(gòu)確??芍貜?fù)的結(jié)果
          • 模塊化設(shè)計(jì),提供靈活使用的定制選項(xiàng)
          • 方光束和線光束場以獲得更優(yōu)的結(jié)果
          • 支持所有 COMPex 激光器型號以實(shí)現(xiàn)有效率的加工

          技術(shù)參數(shù)

          產(chǎn)品尺寸

          產(chǎn)品應(yīng)用

          激光剝離分離

          摻雜離子激活

          燒蝕圖案

          準(zhǔn)分子激光退火


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