HEPHAIST定位平臺NAF3C-10-01P

滑塊部分采用 “預載雙滑塊 ”結(jié)構(gòu)，中間板夾在上下兩塊板之間。 每塊板之間放置了大量滾珠，可實現(xiàn)平滑的平面滾動運動。 三個執(zhí)行器位于同一平面上，因此結(jié)構(gòu)超薄、簡單。 這有助于實現(xiàn)小型化和低重。

超薄、結(jié)構(gòu)簡單

高精度定位

高剛性

節(jié)省空間

任意設置旋轉(zhuǎn)中點

超精度平臺 HW 系列：進給機構(gòu)采用 “滾珠絲杠+楔形減速機構(gòu)”。 此外，直線運動導軌配備了 “交叉滾柱導軌”，從而實現(xiàn)了高跟蹤、高精度和高剛性的超精度平臺。

Z 傾斜平臺：帶有三個楔形 Z 軸模塊的傾斜平臺。平臺放置在需要調(diào)整角度的物體底部，高度和水平度可通過每個推桿的垂直運動進行調(diào)整。工作臺和推桿之間的連接采用本公司生產(chǎn)的球面軸承 (SRJ)。

Z 軸平臺：高負荷、高剛性、高分辨率、省電的推桿，是在狹小空間內(nèi)沿 Z 軸方向定位和校準重物的適配選擇。

XYθ 平臺（對中平臺）：超薄平臺，其電動執(zhí)行器布置在同一平面內(nèi)，使整個系統(tǒng)的重較低。

產(chǎn)地：日本

行程：XY ± 2 mm，θ ± 2°

工作臺尺寸：100 x 100 mm

底座尺寸：120 x 120 mm

高度：35 mm

重復定位精度：±1 µm 以內(nèi)

移動誤差：3 µm 以內(nèi)

靜止時的負載能力(等分布垂直負載）：200 N

移動時的負載能力(垂直均布負載）：100 N

平行度：30 μm

步進電機型號：PK513PA

滾珠絲杠導程：1 mm

驅(qū)動器類型：步進：MC-S0514-3L

步進分辨率(默認設置）：0.2 μm/pulse

伺服分辨率(默認設置）：0.1 μm/pulse

光電微傳感器：PM-L25

平臺材料：鐵-低溫黑鉻處理；鋁-黑色陽極氧化處理

質(zhì)量：2.2 kg

潤滑劑：低塵潤滑脂

平臺高速運行 、懸掛在天花板上