產(chǎn)品介紹
泄壓閥的主要要求是其可靠和準確作用的泄壓觸發(fā)器。212 減壓觸發(fā)器由高耐用性壓力彈簧驅(qū)動，該彈簧設(shè)計用于延長使用壽命。觸發(fā)器經(jīng)過校準，可處理 1.2 至 1.5 bar 閥門開口處的壓差。其工作范圍設(shè)置在 1×10-8 mbar 和 1.2 bar 之間，氣體流量max.6升/分鐘。
212 系列在各種工藝條件下的數(shù)千種苛刻應用中進行了測試，證明了其可靠性。
212 泄壓閥有 DN 16mm (5/8") 可供選擇。閥體由不銹鋼制成。標準法蘭為 ISO-KF。其烘烤溫度≤150°C。
性能特點
精細保護
快速響應壓力突變，防止系統(tǒng)過壓損壞，保障設(shè)備安全運行。
適用于對壓力敏感的精細工藝，如半導體晶圓加工、真空鍍膜等。
成本效益
低擁有成本：長壽命設(shè)計減少更換頻率，降低長期維護費用。
高性價比：在同類產(chǎn)品中，其性能與價格平衡出菜，適合大規(guī)模工業(yè)應用。
兼容性與靈活性
支持多種真空系統(tǒng)配置，可與其他VAT閥門（如閘閥、角閥）協(xié)同工作。
模塊化設(shè)計便于升級或擴展，適應未來工藝調(diào)整需求。
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)地 |
瑞士 |
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觸發(fā)壓力與壓差 |
觸發(fā)器經(jīng)過校準，可處理閥門開口處 1.2至1.5 bar 的壓差。 |
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釋放觸發(fā)點為 >1.5 bar，即當系統(tǒng)壓力超過此值時，閥門開啟釋放壓力。 |
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工作范圍 |
壓力范圍覆蓋 1×10?³ mbar 至 1.2 bar，適用于從高真空到中等壓力的廣泛場景。 |
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這一特性使其在半導體制造、真空鍍膜等對壓力敏感的工藝中表現(xiàn)優(yōu)異。 |
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流量與尺寸 |
max氣體流量為 6升/分鐘，滿足小流量精細調(diào)節(jié)需求。 |
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提供 DN 16mm（5/8"） 規(guī)格，兼容多種管道系統(tǒng)。 |
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材質(zhì)與結(jié)構(gòu) |
閥體采用 不銹鋼 制造，耐腐蝕、耐高溫，適應苛刻工業(yè)環(huán)境。 |
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標準法蘭為 ISO-KF，便于與現(xiàn)有真空系統(tǒng)集成。 |
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壽命與可靠性 |
觸發(fā)器由高耐用性壓力彈簧驅(qū)動，經(jīng)校準后壽命顯著延長，減少維護頻率。 |
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在數(shù)千種苛刻工藝條件下通過長期測試，證明其穩(wěn)定性與可靠性。 |
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烘烤溫度 |
支持 ≤150°C 的烘烤溫度，適應高溫消毒或工藝需求。 |
產(chǎn)品尺寸
產(chǎn)品應用
半導體制造
在晶圓加工、光刻、蝕刻等環(huán)節(jié)中，維持真空腔室壓力穩(wěn)定，避免污染或工藝偏差。
真空鍍膜
控制鍍膜過程中的氣體壓力，確保薄膜均勻性，提升產(chǎn)品良率。
太陽能電池板生產(chǎn)
在真空干燥、層壓等步驟中，防止壓力波動導致電池板缺陷。
工業(yè)研究
實驗室真空系統(tǒng)中，為高精度實驗提供可靠的壓力保障。
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
