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產(chǎn)品介紹
ATV3000 排氣壓力控制器用于控制真空室中的壓力。它還被制造用于控制大范圍的壓力。 由于控制器和閥門是一體制造的，因此無(wú)需使用額外的控制器，因此可以降低成本。
性能特點(diǎn)
- ATV3000智能排氣節(jié)流閥采用微步進(jìn)電機(jī)和直接齒輪驅(qū)動(dòng)器，提高閥門的分辨率。
- ATV3000 智能排氣節(jié)流閥采用高扭矩電機(jī)，因此即使在大型腔室中也可以安裝真空管路（例如 12 英寸）。
- ATV3000 智能排氣節(jié)流閥體即使在加熱到 150?C 后也可以使用。（不包括密封型）
- ATV3000智能排氣節(jié)流閥以FND顯示擋板位置，方便用戶從外部查看閥門是否工作。 它的設(shè)計(jì)使其可以在不與設(shè)備分離的情況下進(jìn)行檢查。
- ATV3000智能型排氣節(jié)流閥，可根據(jù)客戶要求在訂貨時(shí)設(shè)置法蘭形式。
- ATV3000 智能排氣節(jié)流閥只能在外部提供直流電源（+24VDC）時(shí)使用。
技術(shù)參數(shù)
- 速度（開到關(guān)）：1.5秒
- 驅(qū)動(dòng)方式：直接齒輪傳動(dòng)
- 閥門電機(jī)環(huán)境工作溫度：-20 到 +40
滬公網(wǎng)安備31011302006898號(hào)
