PHILLIPTECH石英晶體TAN06IG

這些 6,000 MHz AT 切割石英晶體由 Phillip Technologies 設(shè)計(jì)和制造，在薄膜沉積系統(tǒng)中提供高頻率穩(wěn)定性和高精度性能。它們采用雙錨電極布局，與 Inficon、Maxtek、Sigma Instruments、Sycon 以及其他采用此行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)配置的控制器的監(jiān)控系統(tǒng)完全兼容。

這些晶體直徑為 14 毫米，頻率響應(yīng)清晰可靠，是真空沉積、光學(xué)監(jiān)控以及半導(dǎo)體、光子學(xué)和先進(jìn)材料應(yīng)用領(lǐng)域中薄膜生長的理想選擇。

• 高精度 6 MHz AT 切割石英晶體
• 我們的晶體采用定制設(shè)計(jì)的托盤包裝，可保護(hù)敏感的中心區(qū)域（諧振點(diǎn) 3 毫米范圍內(nèi)）免受任何物理接觸或污染
• 用于薄膜沉積監(jiān)測器和控制器的石英傳感器

電極涂層選項(xiàng)

金 (Au)：化學(xué)惰性，適用于腐蝕性或反應(yīng)性薄膜環(huán)境

銀 (Ag)：提供高的Q值和頻率響應(yīng)；適用于高精度PVD或光學(xué)薄膜控制

鋁 (Al)：建議用于高溫環(huán)境或監(jiān)測鋁基薄膜；具有低熱膨脹性和強(qiáng)大的工藝兼容性

每種金屬選項(xiàng)均在嚴(yán)格控制的條件下進(jìn)行真空沉積，以確保電極的均勻性和性能穩(wěn)定性。

產(chǎn)地：美國

材質(zhì)：純二氧化硅單晶，電子級(jí)石英

尺寸：外徑 0.550 英寸 + 0.000/- 0.002 英寸

輪廓：平凸

表面處理：平面和輪廓面粗糙度均方根值 7 微米

直徑：13.95 毫米的通光孔徑內(nèi)無碎裂、劃痕或蝕刻痕跡

電極：Inficon 鍍金，底層鍍鉻

諧振頻率：5.989 MHz，基波串聯(lián)諧振

電阻：<15 歐姆，鍍層

接觸電阻：<10 歐姆（圖案側(cè)邊到邊）

雜散模式：first非諧波 >150 KHz 高于基波

重量：0.05 磅

尺寸：3.75 × 3.75 × 0.35 英寸

包裝數(shù)量：10 件