COHERENT準分子激光器LAMBDA SX C600

LAMBDA SX 工業(yè)準分子激光器系列為生產(chǎn)車間提供獨特的高紫外功率。它能提供高而穩(wěn)定的脈沖能量，還采用了多項創(chuàng)新技術，具有高性能和可靠性。LAMBDA SX 激光器適合微結構、半導體封裝、通過脈沖激光沉積 (PLD) 制造高溫超導體、激光升降臺 (LLO) 以及高功率紫外激光雷達等應用。E 系列是準分子激光退火 (ELA) 的適配選擇。

高能量穩(wěn)定性，確保產(chǎn)量

按需脈沖，實現(xiàn)經(jīng)濟有效的激光起爆

激光數(shù)據(jù)采集，實現(xiàn)先進的過程控制

密封和凈化光束路徑，可實現(xiàn)長期穩(wěn)定運行

用于控制和快速數(shù)據(jù)采集的以太網(wǎng)接口

產(chǎn)地：美國

波長：308 nm

Max穩(wěn)定脈沖能量：1000 mJ

Max穩(wěn)定平均功率：600 W

Max重復率：600 Hz

西格瑪能量穩(wěn)定性：≤ 1 %

脈沖持續(xù)時間（FWHM）：24 ± 4 ns

光束尺寸（FWHM，V x H）：35 ± 4 × 14.5 ± 3 mm²

光束發(fā)散（全寬，V x H）：≤ 4.5 × 1.5 mrad²

Max穩(wěn)定能量下的動態(tài)氣體壽命：1 億脈沖

重量：2200 kg；4850 lbs.

冷卻：水，3 至 70 l/min；0.8 至 18.5 gal./min

環(huán)境溫度：12 至 15 ℃

電氣：40 kVA，三相，400 VAC，50/60 Hz

尺寸（長 x 寬 x 高）：2800 x 850 x 2083 ± 20 mm；110.2 x 33.3 x 82 ± 0.8 英寸

微結構和鉆孔、脈沖激光沉積、表面處理