COHERENT固體激光器PYTHON

PYTHON 降低了 OLED 平板顯示器生產(chǎn)中低溫多晶硅退火的成本，提高了產(chǎn)量。這是通過使用高可靠性、二極管泵浦、固態(tài)激光技術(shù)來準(zhǔn)確復(fù)制 VYPER 準(zhǔn)分子激光器的輸出來實現(xiàn)的，包括脈沖能量、重復(fù)率、光束大小和光束強度分布。PYTHON適用于現(xiàn)有的相干LineBeam 750、1000、1300和1500系統(tǒng)，幾乎無需修改現(xiàn)有的ELA流程。這可確保輕松過渡到這種可靠性更高、成本更低的激光源。

高可靠性

運行成本降低 50 %

無需更改記錄工藝

高能量穩(wěn)定性

產(chǎn)地：美國

零件編號：2270257

波長：355 nm

Max穩(wěn)定脈沖能量：2000 mJ

Max穩(wěn)定平均功率：1200 W

Max重復(fù)率：600 Hz

能量總和穩(wěn)定性（sigma）：≤ 0.25 %

脈沖持續(xù)時間（FWHM）：30 ± 5 ns

光束尺寸（FWHM，V x H）：35 ± 4 x 14.5 + 3 / - 6 mm²

光束發(fā)散（FWHM，V x H）：4.5 ± 1 x 1.0 ± 0.3 mrad²

重量：≤ 4400 kg；9700 磅

冷卻：水，Max 2 x 70 升/分鐘（2 x 18.5 gal./min），10 至 13 ℃

電氣：2 x 36 kVA，三相，400 VAC，50 或 60 Hz

尺寸（長x寬x高）：2800 x 1700 x 1720 mm；110.0 x 66.9 x 67.7 英寸

激光退火