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J-50MUV-193 能量傳感器采用 MaxUV 涂層,經(jīng)過優(yōu)化,可與波長為 193 nm 的 ArF 激光器和波長為 248 nm 的 KrF 激光器配合使用。該傳感器在 193 nm 波長下直接校準(zhǔn),并包含從 193 nm 到 2.1 µm 的光譜補(bǔ)償。EnergyMax-USB J-50MUV-193 能量傳感器通過 USB 電纜直接連接到 PC。還提供 DB25 型號(PN 1146237)??商峁┐笮蜕崞?(PN 1123432),通過提高平均功率能力來擴(kuò)展 EnergyMax 傳感器的能量和重復(fù)率。
19 至 2.1 µm 光譜范圍
50 mm有效區(qū)域直徑
200 µJ 至 250 mJ 能量范圍
200 pps 重復(fù)率操作
直接 USB 接口
通過 ISO 17025 認(rèn)證

大型散熱器:編號 1123432
產(chǎn)地:美國
訂購號:1289935
電纜類型:USB
有效區(qū)域直徑:50 mm
探測器涂層:Max UV
能量范圍:200 µJ 至 250 mJ
波長范圍:190 到 2100 nm
噪聲等效能量:< 20 µJ
Max熱釋電重復(fù)率:200 脈沖/秒
波長范圍:0.19 至 2.1 μm
Max平均功率:10 W
Max脈沖寬度:86 μs
Max能量密度:每平方厘米 200 mJ(193 nm, 10 ns)
擴(kuò)散器:無
校準(zhǔn)不確定性:(k=2) ± 3 %
能量線性度:± 3 %
校準(zhǔn)波長:193 nm
電纜長度:3 米

科學(xué)、工業(yè)、準(zhǔn)分子激光應(yīng)用
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