COHERENT碳化硅材料SSC-702

根據(jù)需要定制幾乎任何尺寸或形狀的 RB-SiC 元件，包括高平面度、大浸潤深度和內(nèi)部冷卻通道。RB-SiC 具有獨特的物理特性組合--耐高溫、低 CTE、化學(xué)惰性、高強度和強度重量比，適用于高壓電子、半導(dǎo)體工具等應(yīng)用。

可定制幾乎任何尺寸或形狀

獨特的物理特性組合

耐高溫

低 CTE、化學(xué)惰性

高強度和強度重量比

THERMADITE：SiSiC + Diamond，適用于需要高熱穩(wěn)定性和機械穩(wěn)定性的應(yīng)用

COGENTUM：下一代鋁 MMC，機器設(shè)計的適配之選

MESA：在使用新型材料時的智能平面度控制

OPTIMUM：用于鏡面應(yīng)用的可直接拋光碳化硅

復(fù)雜結(jié)構(gòu)

帶內(nèi)部通道的整體結(jié)構(gòu)

高爐噴嘴

復(fù)雜的密封幾何形狀

大型爐襯（直徑 1 米 x 長度 5 米 x 側(cè)壁 15 毫米）

Bunner 噴嘴

節(jié)流插件

高爐噴嘴

產(chǎn)地：美國

含量：(硅碳化硅)70 % 硅碳化硅

密度 ρ：2.95 g/cc

泊松比：0.18

楊氏模量 E：350 GPa

20 至 100 ℃平均熱膨脹系數(shù) α：2.9 ppm/K

導(dǎo)熱系數(shù) k：170 W/m-K

比熱：680 J/kg-K

彎曲強度：270 MPa

斷裂韌性：4.0 MPa-m1/2

比剛度：119 E/ρ

熱穩(wěn)定性：59 k/α

高壓電子、半導(dǎo)體工具等