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產(chǎn)品介紹
Boston Micromachines的MEMS可變形鏡設(shè)計(jì)理念簡(jiǎn)潔，功能強(qiáng)大。致動(dòng)器陣列基于笛卡爾坐標(biāo)系的電極布局構(gòu)建。支撐鏡面的移動(dòng)無(wú)需強(qiáng)致動(dòng)器間耦合，從而實(shí)現(xiàn)比同類產(chǎn)品更準(zhǔn)確的控制。此外，MEMS 可變形鏡的架構(gòu)使其擁有目前所有可變形鏡中快的響應(yīng)速度，精度僅受限于電子器件。我們的標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器可在整個(gè)范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn) 14 位控制，使我們的可變形鏡具備開(kāi)箱即用的高精度。如果需要更高的精度，我們還可以提供更高分辨率的產(chǎn)品。
可擴(kuò)展的制造工藝使我們能夠批量生產(chǎn)多種配置的產(chǎn)品，從而在大批量生產(chǎn)中降低成本。
性能特點(diǎn)
- 一款用途廣泛的可變形鏡系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)先進(jìn)的波前控制。
- Multi-DM 系列產(chǎn)品以易于使用的封裝提供準(zhǔn)確的像差補(bǔ)償。
- 該系統(tǒng)擁有 137 或 140 個(gè)準(zhǔn)確控制的元件，且元件間耦合低，因此非常適合顯微鏡、天文、視網(wǎng)膜成像和激光束整形等多種應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)地 |
美國(guó) |
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執(zhí)行器總數(shù) |
137 |
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孔徑上的執(zhí)行器數(shù)量 |
13 |
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物理行程 |
1.5 μm |
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波前行程 |
3.5 μm |
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孔徑 |
3.60 mm |
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間距 |
300 μm |
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機(jī)械響應(yīng)（單個(gè)執(zhí)行器，10% – 90%） |
<40 μs |
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機(jī)械響應(yīng)（離焦上升，10% – 90%） |
40 μs |
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機(jī)械響應(yīng)（離焦下降，10% – 90%） |
120 μs |
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標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字更新速率 |
2 kHz |
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高速數(shù)字更新速率 |
100 kHz |
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近似執(zhí)行器耦合 |
15 % |
滬公網(wǎng)安備31011302006898號(hào)
