產品介紹
65.3型壓力擺動控制閥為下游壓力控制與隔離樹立了新標準。該系列壓力擺動控制閥專為半導體及顯示器生產系統(tǒng)設計，可在寬導電率范圍內提供highest級別的可控性。65.3型壓力擺動控制閥配備集成位置控制的電機，可實現(xiàn)增強功能。
驅動控制器具備更強的32位數(shù)據(jù)處理能力，可實現(xiàn)全新可控性。這意味著擺動閥板的每個位置都能被快速、精細地控制，從而在極短響應時間內實現(xiàn)高度準確的下游壓力控制。閥門預設的運動序列可根據(jù)不斷變化的工藝參數(shù)動態(tài)調整速度與路徑。65.3型壓力擺動閥還能有效防止顆粒物釋放。閥板優(yōu)化的阻尼閉合運動可避免傳統(tǒng)閥門常見的沖擊與振動。65.3型壓力擺動控制閥閉合過程平順，啟閉動作幾乎難以察覺。閥板提供精細機械導向，確保往復運動中實現(xiàn)非接觸式氣流控制，并在所有密封運動區(qū)域達成均勻密封。
65.3 壓力擺動控制閥已在數(shù)百個苛刻應用場景中安裝使用，涵蓋各種工藝條件，充分證明了其卓絕的可靠性和性能表現(xiàn)。65.3 壓力擺動控制閥同樣是改造現(xiàn)有系統(tǒng)的理想選擇。
65.3 壓力擺動閥規(guī)格為DN 100-350毫米（4“-14”），采用鋁材或硬質陽極氧化鋁制造，配備ISO-F和JIS標準法蘭接口?？杉啥ㄖ品ㄌm或選擇直接安裝方案。標準密封材料為氟橡膠，亦可按需求選用其他材質。
控制器可采用特殊控制算法（自適應、固定PID、上游控制、軟萃?。？刂破魃系母黝悩藴式涌诳赏ㄟ^個人計算機輕松訪問，或連接至過程控制單元（PCU）。專用控制性能分析儀（CPA）軟件能便捷校準65.3型壓力擺動閥，并簡化維護計劃。
性能特點
快速精細的保持壓力控制
無沖擊運行：無顆粒激活
提升工藝穩(wěn)定性：整體控制流量與壓力
集成32位壓力調節(jié)器（IC2）及控制性能分析儀（CPA）
“即插即用”改造方案：無需拆卸或對準
卓絕的可靠性、精度與速度
延長維護周期
低運營成本
技術參數(shù)
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產地 |
瑞士 |
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尺寸 |
DN 100 (4“)，DN 160 (6”)，DN 200 (8“)，DN 250 (10”)，DN 320 (12“)，DN 350 (14”) |
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執(zhí)行器 |
帶集成壓力控制器的步進電機 |
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閥體材料 |
鋁坯或硬質陽極氧化鋁 |
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標準法蘭 |
ISO-F、JIS |
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安裝位置 |
任意 |
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穿墻件 |
執(zhí)行器：旋轉式穿墻件 |
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密封環(huán)：軸向穿墻件 |
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泄漏率閥體 |
鋁坯：< 1 × 10?? mbar·s?¹ |
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硬質陽極氧化鋁：< 1 × 10?? mbar·s?¹ |
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泄漏率閥座 |
鋁坯：< 1 × 10?? mbar·s?¹ |
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硬質陽極氧化鋁：< 1 × 10?? mbar·s?¹ |
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壓力范圍 |
鋁坯：1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) |
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硬質陽極氧化鋁：1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) |
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溫度 |
閥體：≤ 120 °C |
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控制器：highest 50°C（引薦 ≤ 35 °C） |
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材料 |
閥體、閥板：EN AW-6061 (3.3211) |
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密封環(huán)：EN AW-6061 (3.3211)、AISI 305 (1.4303)、AISI 420C (1.3541)、AISI 631 (1.4568) |
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其他部件：AISI 316L (1.4404, 1.4435)、AISI 440 (1.4122)、AISI 301 (1.4310)、AISI 316 Ti (1.4571)、AISI 304 (1.4301) |
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密封件 |
閥蓋、閥體板穿管：FKM（氟橡膠） |
產品應用
半導體制造
刻蝕與清潔工藝：在腐蝕性刻蝕和清潔應用中，65.3系列閥門可準確控制初始流導，避免顆粒污染，保障晶圓良率。
化學氣相沉積（CVD）：通過穩(wěn)定壓力控制，優(yōu)化薄膜沉積均勻性，提升器件性能。
顯示器生產
真空鍍膜工藝：在OLED、LCD等顯示面板的真空鍍膜過程中，閥門的高精度控制確保氣體分布均勻，減少缺陷產生。
其他高性能真空系統(tǒng)
科研實驗：在高能物理研究、真空鍍膜等場景中，閥門的高純度、低粒度特性滿足惡劣工藝條件需求。
太陽能電池板制造：通過準確控制真空環(huán)境，優(yōu)化電池片生產效率。
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
