產(chǎn)品介紹
11.1 HV閘閥系列配備專為閘板密封設計、可實現(xiàn)無摩擦可靠密封的VATLOCK技術(shù)。該技術(shù)通過在關閉端位實現(xiàn)機械鎖定，有效防止閥門故障。
該系列及其前代產(chǎn)品11.0系列已在數(shù)千個嚴苛工況中投入使用，經(jīng)受住各種工藝條件的考驗，其卓絕可靠性已獲充分驗證。在DN 63-320毫米（2.5“-11.5”）規(guī)格范圍內(nèi)，它們已成為高壓隔離需求的行業(yè)標桿。
憑借堅固設計，11.1系列滿足高壓閘閥可靠運行的全部要求。該系列專為ultra-high工藝循環(huán)次數(shù)設計，樹立了通用型高壓閘閥的新標桿。
本系列提供多種驅(qū)動方式和法蘭連接方案，可輕松集成至任何高壓系統(tǒng)。窗口、端口等豐富特殊選項確保整體適配各類應用場景。
11.1 HV閘閥提供手動、氣動及三位置氣動三種版本。該閥門可通過電磁閥控制，電磁閥可安裝在閥體上，也可根據(jù)需要安裝在遠端位置。電磁閥標準電壓為24V直流，其他電壓規(guī)格可按要求提供。閥門位置通過雙位置指示器顯示——分別配備兩個開關用于“開”和“關”位置——并帶有轉(zhuǎn)換觸點。
法蘭連接器的標準選項包括ISO-F、CF-F、ASA-L和JIS?？杉蓭浠虿粠涞目蛻舳ㄖ品ㄌm。
閘板密封可選O型圈密封或硫化密封（maxDN 200 mm/8"）。因其在真空性能和可靠性方面表現(xiàn)優(yōu)異，建議采用硫化密封方案。
性能特點
可靠、久經(jīng)考驗的設計
配備防故障保護的VATLOCK技術(shù)
堅固耐用的不銹鋼主體
高循環(huán)設計
焊接金屬波紋管密封穿墻件
彈性體密封閘閥類別中真空性能
運行可靠
延長免維護周期
低擁有成本
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)地 |
瑞士 |
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尺寸 |
DN 63（2½英寸）、DN 80（3英寸）、DN 100（4英寸）、DN 160（6英寸）、DN 200（8英寸）、DN 250（10英寸）、DN 320（12英寸） |
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閥體材質(zhì) |
不銹鋼 |
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穿管結(jié)構(gòu) |
波紋管 |
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標準法蘭 |
ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS |
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壓力范圍 |
1×10??毫巴至1.6巴（absolutely值）（DN 63–200） |
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1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) (DN 250 – 320) |
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初次維護前循環(huán)次數(shù) |
200 000 |
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安裝位置 |
任意 |
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電磁閥 |
24 VDC，5.4 W（其他規(guī)格可定制） |
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閥位指示 |
可視（機械式） |
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執(zhí)行機構(gòu) |
三位置氣動：雙作用 |
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手動：帶曲柄手柄 |
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泄漏率 |
閥體：< 1 × 10?? mbar·l/s |
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閥座：< 1 × 10?? mbar ls?¹ |
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壓差 |
閘閥端 |
≤ 1.6 bar (DN 63 – 200) |
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≤ 1.2 bar (DN 250 – 320) |
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開啟時 |
≤ 30 mbar |
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溫度 |
閥體：≤ 150 °C |
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執(zhí)行器：≤ 80 °C |
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電磁閥：≤ 50 °C |
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位置指示器：≤ 50 °C |
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材質(zhì) |
閥體 |
AISI 304 (1.4301) |
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傳動機構(gòu) |
AISI 316L (1.4404) (DN 63 – 200) |
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AISI 304 (1.4301) (DN 250 – 320) |
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波紋管 |
AISI 633 (AM350) |
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密封 |
閥蓋、閘板：FKM (氟橡膠) |
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位置指示器：觸點額定值 |
電壓：≤ 50 VAC/DC |
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電流：≤ 1.2 A |
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產(chǎn)品應用
半導體制造
用于基質(zhì)轉(zhuǎn)移、工藝腔室隔離等關鍵環(huán)節(jié)，確保高純度真空環(huán)境，防止顆粒污染。
顯示器生產(chǎn)
適配干式蝕刻、濺射、薄膜封裝（CVD）、OLED蒸發(fā)等工藝，滿足精細控制需求。
科研與高能物理
在空間模擬、高能物理實驗中，提供穩(wěn)定的高真空隔離解決方案。
工業(yè)領域
真空爐、真空運輸、電池生產(chǎn)等場景，依賴其可靠性和耐久性。
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
