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產(chǎn)品介紹
16.2 HV擺動(dòng)隔離閥兼具可靠的隔離性能與低顆粒計(jì)數(shù)及低顆?；罨匦浴Ｆ渥拷^的顆粒性能得益于平滑的啟閉動(dòng)作。
該閥門(mén)特別適用于蒸發(fā)器和濺射等惡劣工藝環(huán)境中的隔離需求。16.2閥提供三位置氣動(dòng)單作用帶閉合彈簧或標(biāo)準(zhǔn)氣動(dòng)單作用帶閉合彈簧兩種配置。
其特殊分體式閥體設(shè)計(jì)無(wú)需拆卸管道連接或工藝腔連接即可維護(hù)。纖薄結(jié)構(gòu)可直接安裝于工藝腔體，省去傳統(tǒng)腔體-閥門(mén)-泵連接所需的額外容積。
憑借堅(jiān)固設(shè)計(jì)與多樣化配置選項(xiàng)，16.2系列可輕松集成于各類(lèi)真空工藝流程。
該系列已在全球數(shù)百套批量及在線生產(chǎn)系統(tǒng)中投入使用，經(jīng)受各種工藝條件考驗(yàn)，其卓絕性能在各方面均得到充分驗(yàn)證。
16.2 HV擺動(dòng)隔離閥提供鋁制版本，閥體經(jīng)硬質(zhì)陽(yáng)極氧化或鍍鎳處理，配備符合ISO-F、ASA-LP和JIS標(biāo)準(zhǔn)的法蘭連接件?？杉煽蛻?hù)定制法蘭。其他選項(xiàng)包括粗排（旁通）口、排氣口或儀表接口、加熱解決方案，以及帶硼硅酸鹽玻璃或藍(lán)寶石玻璃視窗的閥板。
性能特點(diǎn)
在惡劣工藝環(huán)境中實(shí)現(xiàn)可靠隔離
低沖擊運(yùn)行，低顆?；罨?/p>
工藝惰性——極低殘余脫氣量（RGA）
高運(yùn)行時(shí)間
低運(yùn)行成本
可根據(jù)工藝要求調(diào)整
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)地 |
瑞士 |
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尺寸 |
DN 200 (8“)，DN 250 (10”)，DN 320 (12")，DN 350 (14“)，DN 400 (16”)，DN 500 (20") |
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執(zhí)行器 |
氣動(dòng)型：?jiǎn)巫饔脦шP(guān)閉彈簧（常閉） |
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三位置氣動(dòng)型：?jiǎn)巫饔脦шP(guān)閉彈簧（常閉） |
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閥體材質(zhì) |
鋁合金 |
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穿壁件 |
旋轉(zhuǎn)式穿壁件 |
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標(biāo)準(zhǔn)法蘭 |
ISO-F、ASA-LP、JIS |
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泄漏率 |
閥體、閥座：< 1 × 10?? mbar·l/s |
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壓力范圍 |
1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) |
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閥板差壓 |
≤ 1.2 bar |
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開(kāi)啟差壓 |
DN 200：≤ 10 mbar |
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DN 250 - 500：≤ 5 mbar |
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初次維護(hù)前循環(huán)次數(shù) |
200 000 |
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溫度 |
閥體：≤ 120 °C |
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執(zhí)行器：≤ 80 °C |
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電磁閥：≤ 50 °C |
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位置指示器：≤ 80 °C |
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加熱/冷卻速率 |
≤ 30 °C·h?¹ |
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材質(zhì) |
閥體、閥板、密封環(huán) |
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DN 200-400：EN AW-5083 (3.3547)，EN AW-6082 (3.2315) |
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DN 500：EN AC-42100 (3.2371) |
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導(dǎo)管（與介質(zhì)接觸部件）：AISI 303 (1.4305), AISI 304 (1.4301) |
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密封件 |
閥蓋、閥板、動(dòng)力密封、導(dǎo)管：氟橡膠（Viton） |
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安裝位置 |
任意 |
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電磁閥 |
24 V直流，5.4 W（其他規(guī)格可定制） |
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位置指示器 |
電壓：≤ 50 V交流/直流 |
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電流：≤ 1.2 A |
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閥門(mén)位置指示 |
視覺(jué)（機(jī)械式） |
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
蒸發(fā)與濺射設(shè)備：在真空鍍膜工藝中，16.2閥門(mén)隔離不同工藝腔體，防止材料交叉污染，同時(shí)低顆粒特性保障鍍膜質(zhì)量。
晶圓傳輸系統(tǒng)：作為真空傳輸閥，其緊湊設(shè)計(jì)與高可靠性確保晶圓在真空環(huán)境中安全傳輸，減少生產(chǎn)中斷風(fēng)險(xiǎn)。
科研與高真空實(shí)驗(yàn)
同步加速器與粒子加速器：閥門(mén)需在惡劣真空條件下長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行，16.2系列的低放氣率與高密封性滿(mǎn)足實(shí)驗(yàn)需求。
表面分析設(shè)備：在X射線光電子能譜（XPS）等分析中，閥門(mén)隔離真空系統(tǒng)與外界，避免樣品污染，確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。
工業(yè)真空工藝
真空滅菌設(shè)備：閥門(mén)準(zhǔn)確控制氣體流量，確保滅菌過(guò)程真空度穩(wěn)定，提升滅菌效率。
滬公網(wǎng)安備31011302006898號(hào)
