VAT角閥24.2

暴露于活性腐蝕性工藝氣體中的真空閥門，尤其是用于隔離遠(yuǎn)程等離子體源的清潔氣體閥門，極易遭受嚴(yán)重磨損。過去，因維護(hù)或更換這些閥門而頻繁中斷生產(chǎn)曾是常態(tài)。如今，這種情況已不復(fù)存在。

24.2角閥在耐磨性方面樹立了全新標(biāo)桿。實(shí)際應(yīng)用中，其平均運(yùn)行時間較現(xiàn)有解決方案延長一倍，部分案例中更顯著超越該基準(zhǔn)值。

憑借針對等離子清洗應(yīng)用優(yōu)化的閉合機(jī)制，24.2角閥兼具精細(xì)操作隔離閥的便捷性、ultra-high耐久性及極低維護(hù)需求。

等離子清洗領(lǐng)域多數(shù)真空閥的薄弱環(huán)節(jié)在于閘門密封件，其無法抵御強(qiáng)腐蝕性等離子氣體及氟自由基的侵蝕。24.2角閥通過采用閉合鐘形結(jié)構(gòu)替代傳統(tǒng)閘門，解決了這一難題。

鐘形結(jié)構(gòu)使密封件置于等離子流外的深密封槽中，有效防止過早磨損。該結(jié)構(gòu)還重新設(shè)計了流道引導(dǎo)，經(jīng)優(yōu)化的等離子流道使導(dǎo)電率較傳統(tǒng)角閥提升40%。由于減少了因流道狹窄或湍流造成的能量損耗，等離子流的功率利用率顯著提高。

新開發(fā)的軸向貫穿件設(shè)計可保護(hù)貫穿件密封件免受過度的熱應(yīng)力影響。

此外，采用專用軸穿墻盒實(shí)現(xiàn)閉合鐘罩與穿墻件的熱解耦，避免直接熱傳導(dǎo)。同時準(zhǔn)確設(shè)定主體與閉合鐘罩間的間隙尺寸，有效防止等離子體滲透并max限度降低其影響。

24.2角閥已在多種嚴(yán)苛等離子清洗工藝中驗(yàn)證其卓絕性能。憑借模塊化設(shè)計，該閥門可輕松適配現(xiàn)有系統(tǒng)進(jìn)行改造升級。

24.2型角閥提供DN 16規(guī)格的鋁制版本，配備雙作用氣動執(zhí)行器。其他規(guī)格及直通式版本可按需定制。

該閥門采用被動式空氣冷卻，無需水冷。但可選配主動式空氣冷卻系統(tǒng)，該系統(tǒng)可使用與執(zhí)行器相同的壓縮空氣驅(qū)動。被動及可選的主動空氣冷卻系統(tǒng)能直接、均勻且有效地保護(hù)溫度敏感的密封面。

除標(biāo)準(zhǔn)FKM（Viton）密封材料外，動態(tài)密封與靜態(tài)密封可選配耐高溫FFKM（Kalrez）材料，即使不采用主動冷卻也能顯著提升耐磨性。密封材料可根據(jù)客戶需求定制。

24.2角閥標(biāo)配KF法蘭，可選配客戶定制法蘭。配套的塑料法蘭夾具具有電氣絕緣功能，可有效防止電流傳播。

除卓絕耐磨性外，24.2角閥專為快速簡易維護(hù)設(shè)計。

僅需松開四顆螺栓，即可通過簡單步驟更換所有相關(guān)部件，包括靜態(tài)密封件、動態(tài)密封件或密封盒。配套維護(hù)套件可確?？焖倏煽康木S護(hù)流程。

等離子體優(yōu)化流道設(shè)計

密封保護(hù)

集成冷卻系統(tǒng)

模塊化設(shè)計

延長免維護(hù)運(yùn)行周期

max化導(dǎo)電率

min化等離子體能量損耗

低擁有成本

快速簡易維護(hù)

VAT角閥24.2已在要求苛刻的各種等離子清潔工藝中證明了其性能，主要適用于半導(dǎo)體、顯示器和太陽能電池板制造，以及在特殊真空條件下運(yùn)行的廣泛工業(yè)和研究應(yīng)用。