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產(chǎn)品介紹
14.0 HV閘閥系列專為標(biāo)準(zhǔn)高循環(huán)真空工藝中的可靠隔離而設(shè)計(jì)。該系列滿足耐用性、模塊化和可維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn)要求，特別注重高運(yùn)行時(shí)間和低擁有成本。
14.0 HV閘閥配備專為實(shí)現(xiàn)閘板密封無(wú)摩擦可靠密封而開發(fā)的VATLOCK技術(shù)。VATLOCK機(jī)構(gòu)通過在關(guān)閉端位實(shí)現(xiàn)機(jī)械鎖定，有效防止閥門故障。
該系列已在數(shù)千個(gè)嚴(yán)苛工藝條件下成功應(yīng)用，其卓絕可靠性經(jīng)受住考驗(yàn)。DN63-400mm（2.5“-16”）規(guī)格已成為高真空隔離領(lǐng)域的行業(yè)標(biāo)桿。
憑借其堅(jiān)固耐用的無(wú)潤(rùn)滑設(shè)計(jì)，該閥門完全滿足高真空閘閥的可靠性要求。14.0型專為ultra-high工藝循環(huán)次數(shù)設(shè)計(jì)，真正樹立了行業(yè)標(biāo)桿。
14.0系列提供多種驅(qū)動(dòng)方式與法蘭連接方案，可輕松集成至各類真空系統(tǒng)。更配備豐富特殊選項(xiàng)：粗抽口、排氣口、壓力表接口等接口配置，以及多種密封材料方案，確保完整適配不同應(yīng)用場(chǎng)景。
14.0 HV閘閥提供手動(dòng)、氣動(dòng)及帶電磁閥的三位置氣動(dòng)版本，可作為車載解決方案或用于外部安裝。電磁閥標(biāo)準(zhǔn)電壓為24 VDC，其他電壓可按要求提供。
法蘭連接的標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)包括ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA及JIS?？杉蓭?不帶水冷功能的客戶定制法蘭。
性能特點(diǎn)
可靠、久經(jīng)考驗(yàn)的設(shè)計(jì)
無(wú)需潤(rùn)滑劑
VATLOCK技術(shù)，具備故障安全防護(hù)功能
堅(jiān)固耐用的不銹鋼主體
高循環(huán)設(shè)計(jì)
性能可靠
延長(zhǎng)免維護(hù)周期
低擁有成本
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)地 |
瑞士 |
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尺寸 |
DN 63（2½英寸）、DN 80（3英寸）、DN 100（4英寸）、DN 160（6英寸）、DN 200（8英寸）、DN 250（10英寸）、DN 320（12英寸）、DN 400（16英寸） |
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閥體材質(zhì) |
不銹鋼 |
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穿管結(jié)構(gòu) |
旋轉(zhuǎn)穿管 |
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標(biāo)準(zhǔn)法蘭 |
ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS |
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壓力范圍 |
1×10?? mbar 至 2 bar (abs) (DN 63 – 200) |
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1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) (DN 250 – 400) |
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初次維護(hù)前循環(huán)次數(shù) |
200 000 |
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加熱/冷卻速率 |
≤ 50 °C/h |
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安裝位置 |
任意方向（DN 63 – 350） |
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水平方向（DN 400） |
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電磁閥 |
24 VDC, 2.5 W（其他規(guī)格可定制） |
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閥位指示 |
可視（機(jī)械式） |
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執(zhí)行機(jī)構(gòu) |
三位置氣動(dòng)：雙作用 |
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手動(dòng)：帶杠桿或手輪 |
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泄漏率 |
閥體：< 1 × 10?? mbar·l/s |
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閥座：< 1 × 10?? mbar·l/s |
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壓差 |
閘閥端 |
≤ 2 bar (DN 63 – 200) |
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≤ 1.2 bar (DN 250 – 400) |
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開啟時(shí) |
≤ 30 mbar |
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溫度 |
閥體：≤ 150 °C |
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氣動(dòng)執(zhí)行器：≤ 50 °C |
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手動(dòng)執(zhí)行器：≤ 80 °C |
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電磁閥：≤ 50 °C |
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位置指示器：≤ 80 °C |
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材質(zhì) |
閥體 |
AISI 304 (1.4301) |
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傳動(dòng)機(jī)構(gòu) |
AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301) |
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AISI 316L (1.4404), AISI 420 (1.4034) |
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密封 |
閥蓋、閘板：FKM (氟橡膠) |
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位置指示器：觸點(diǎn)額定值 |
電壓：≤ 250 VAC ≤ 50 VDC |
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電流：≤ 5 A ≤ 3 A |
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產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
用于基質(zhì)轉(zhuǎn)移、過程隔離和真空系統(tǒng)控制，確保晶圓加工過程中的真空環(huán)境穩(wěn)定性。
兼容高循環(huán)真空工藝，滿足長(zhǎng)運(yùn)行時(shí)間和低購(gòu)置成本需求。
顯示器生產(chǎn)
在干式蝕刻、濺射、薄膜封裝（CVD）、OLED蒸發(fā)等工藝中，提供可靠的真空隔離。
快速響應(yīng)特性減少工藝延遲，提升生產(chǎn)效率。
科研與工業(yè)領(lǐng)域
空間模擬：19.2系列大型閘閥（DN 400-1250 mm）支持超大尺寸真空隔離，壓力達(dá) 1 × 10?¹? mbar。
真空爐與運(yùn)輸：全金屬閥設(shè)計(jì)適應(yīng)惡劣溫度和輻射條件，確保真空系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
滬公網(wǎng)安備31011302006898號(hào)
