VAT真空控制閘閥64.8

64.8 UHV控制閘閥系列專為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的濺射或極紫外光刻等ultra-high真空工藝設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)可靠、準(zhǔn)確的控制與隔離。該系列滿足耐用性、模塊化、密封性及可維護(hù)性等標(biāo)準(zhǔn)要求，尤其注重高運(yùn)行時(shí)間和低擁有成本。

64.8系列配備VATLOCK技術(shù)，可在閥板無(wú)摩擦狀態(tài)下提供可靠密封。閥板作為節(jié)流元件調(diào)節(jié)閥門開度的導(dǎo)通率。內(nèi)置壓力控制器計(jì)算達(dá)到設(shè)定點(diǎn)壓力所需的閥板位置，由步進(jìn)電機(jī)執(zhí)行驅(qū)動(dòng)動(dòng)作，編碼器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)閥板位置，從而實(shí)現(xiàn)快速精細(xì)的工藝壓力控制。獨(dú)特的VATLOCK鎖定機(jī)構(gòu)在關(guān)閉狀態(tài)下確保密封隔離，并在斷電時(shí)觸發(fā)故障安全關(guān)閉功能。

通過(guò)金屬閥帽密封、波紋管密封饋通件及硫化閥板密封（可選配O型圈），實(shí)現(xiàn)ultra-high真空性能。

64.8型閥門已在數(shù)千個(gè)嚴(yán)苛工藝條件下成功應(yīng)用，其卓絕可靠性經(jīng)受住考驗(yàn)。憑借堅(jiān)固耐用的無(wú)潤(rùn)滑設(shè)計(jì)，該閥門完全滿足高循環(huán)真空控制閘閥的所有要求。

64.8 UHV控制閘閥提供多種設(shè)計(jì)選項(xiàng)，包括密封材料、法蘭連接、粗抽（旁通）、排氣或儀表接口，以及特殊控制算法（自適應(yīng)、固定PI下游/軟泵），可簡(jiǎn)化其在各類真空應(yīng)用中的集成?？刂破饕部瑟?dú)立于閥門安裝。

該系列提供DN 200至250mm（8“至10”）規(guī)格，DN 160（6“）和DN 320（12”）規(guī)格可按需定制。

可靠、久經(jīng)考驗(yàn)的ultra-high真空設(shè)計(jì)

免潤(rùn)滑

VATLOCK技術(shù)

堅(jiān)固不銹鋼主體

可靠準(zhǔn)確的控制與隔離

延長(zhǎng)免維護(hù)周期

低擁有成本

半導(dǎo)體制造

濺射工藝：在薄膜沉積過(guò)程中，準(zhǔn)確控制真空腔體壓力，確保薄膜均勻性。

EUV光刻：維持ultra-high真空環(huán)境，防止光刻膠污染，提升良率。

科研與高能物理

同步加速器：隔離真空束線，減少氣體分子對(duì)粒子束的干擾。

空間模擬：模擬太空真空環(huán)境，測(cè)試航天器材料耐久性。

顯示面板制造

OLED蒸發(fā)：控制有機(jī)材料蒸發(fā)速率，優(yōu)化顯示層厚度。