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產(chǎn)品介紹
在半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)中，大氣轉(zhuǎn)移門的核心性能指標(biāo)在于：顆粒激活度與顆粒排放量低，以及快速可靠的啟閉循環(huán)。
全新07.0 HV轉(zhuǎn)移門插件搭載LINVAT技術(shù)，將非凡的顆粒性能與優(yōu)化的可控性完整結(jié)合，實現(xiàn)可調(diào)節(jié)的快速循環(huán)周期。
07.0 HV轉(zhuǎn)移門插件采用LINVAT技術(shù)，其設(shè)計重點在于優(yōu)化顆粒性能與高速循環(huán)周期。
通過優(yōu)化多項設(shè)計特性，實現(xiàn)了卓絕的顆粒性能表現(xiàn)：板材上的扭力桿確保均勻密封壓縮，全封閉式執(zhí)行器，免潤滑環(huán)境，以及具備可調(diào)速曲線的真實L-Motion運動模式，有效避免閉合沖擊。
07.0型卓絕的真實L型運動及可調(diào)速特性，源于VAT專有的LINVAT技術(shù)。該技術(shù)摒棄傳統(tǒng)L型運動中垂直與水平方向分別采用兩個執(zhí)行器的方案，僅通過單個執(zhí)行器實現(xiàn)兩步運動。由此形成高度可靠的執(zhí)行器方案，具備快速、穩(wěn)定、可調(diào)且無沖擊的運動特性。優(yōu)勢在于：提升設(shè)備運行時間并增強可控性。
性能特點
改進的顆粒性能設(shè)計
無油運行環(huán)境
卓絕的精細L型運動
均勻的密封壓縮
靈活的D-sub和AMP連接
出彩的顆粒性能
高運行時間
可靠運行
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)地 |
瑞士 |
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尺寸 |
DN 10 mm (1.81“ × 9.29”) |
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DN 12 mm (1.97“ × 13.23”) |
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DN 14 mm (1.38“ × 13.23”) |
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DN 15 mm (2.56“ × 16.54”) |
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DN 20 mm (1.97“ × 16.54”) |
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執(zhí)行機構(gòu) |
氣動 |
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穿管 |
波紋管 |
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泄漏率 |
< 1 × 10?? mbar·l/s |
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閘門處壓差 |
關(guān)閉方向：≤ 1 bar |
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開啟方向：≤ 0.1 bar |
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開啟過程壓差 |
≤ 30 mbar |
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初次維護前循環(huán)次數(shù) |
≥ 300萬次 |
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動作時間 |
開啟： ≤ 1秒 |
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關(guān)閉：≤ 1秒 |
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溫度 |
閥門處：≤ 120 °C |
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執(zhí)行器處：≤ 80 °C |
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材質(zhì) |
閥體：鋁合金 |
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波紋管保護層：聚四氟乙烯 |
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密封件 |
硫化FFKM橡膠 |
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安裝位置 |
執(zhí)行器可上下安裝 |
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氣源故障鎖定 |
氣動鎖定 |
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位置指示器 |
簧片開關(guān) |
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重量 |
DN 10, DN 12, DN 15：8.5千克 /18.7磅 |
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DN 14, DN 20：7.5 kg /16.5 lbs |
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體制造：用于晶圓傳輸、真空腔室隔離等關(guān)鍵環(huán)節(jié)，保障生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度與設(shè)備穩(wěn)定性。
顯示器生產(chǎn)：支持干式蝕刻、濺射、薄膜封裝（CVD）等工藝的真空控制。
科學(xué)儀器領(lǐng)域：在科研裝置中實現(xiàn)高精度真空傳輸。
工業(yè)真空系統(tǒng)：如真空爐、真空運輸、電池生產(chǎn)等場景的顆?？刂婆c高效傳輸。
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
