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產(chǎn)品介紹
采用 L-Motion 技術(shù)的 053 Transfer Insert 特別適用于蝕刻或 CVD 等腐蝕工藝。L-Motion 技術(shù)通過單軸氣動執(zhí)行器提供閘門的 L-motion。在這種 L 運(yùn)動中，閘板垂直移動到關(guān)閉位置，與閥體沒有任何接觸，在last的運(yùn)動中，它被水平推到閘閥座上，密封件同時以完全相同的壓力接觸閘板座。這不僅避免了任何摩擦和潛在的顆粒產(chǎn)生，還大限度地減少了密封磨損。
為了進(jìn)一步減少顆粒的產(chǎn)生和活化，閘門配有硫化密封件。這是一種比標(biāo)準(zhǔn) O 型圈密封更可靠、更耐用的密封解決方案，盡管標(biāo)準(zhǔn) O 型圈密封作為選項提供。軸饋通采用高度耐用的金屬焊接波紋管密封。
為了確保閘門的整個長度具有相同的密封水平，閘門配備了一個特殊的壓桿。該條保證了澆口每個區(qū)域的密封壓力均勻分布。
在斷電的情況下，05.3可以氣動鎖定在關(guān)閉位置。
帶 L-Motion 的 05.3 轉(zhuǎn)換插件專為延長免維護(hù)操作而設(shè)計（≤ 3 百萬次循環(huán)，直到NO.1次服務(wù)）。
053 系列已安裝在各種半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中的數(shù)百個要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其可靠性。053 系列具有堅固的設(shè)計以及減少和易于維護(hù)的特點，在各個方面都令人信服。
性能特點
在腐蝕性過程條件下可靠運(yùn)行
L-Motion 技術(shù)可避免粒子產(chǎn)生和激活
用于均勻澆口壓力分布的壓桿
波紋管密封軸饋通
延長免維護(hù)周期
平穩(wěn)、低沖擊運(yùn)動
正常運(yùn)行時間長/性能不受限制
快速操作
運(yùn)營成本低
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)地 |
瑞士 |
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尺寸 |
50 x 336 毫米（1.97“ x 13.2”） |
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法蘭 |
特殊 |
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材質(zhì) |
鋁 |
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執(zhí)行器；氣動 |
雙作用 |
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min壓力 |
1 × 10?? 毫巴 |
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max壓力 |
1.1 巴（absolutely） |
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導(dǎo)電率 |
9 ls?¹ |
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板面壓差 |
1.1 巴 |
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開度處壓差 |
≤ 0.03 bar |
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位置指示器highest溫度 |
≤ 80 °C |
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開閉時間 |
≤ 1.0 秒 |
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重量 |
14 kg / 31 lbs |
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執(zhí)行器highest溫度 |
≤ 80 °C |
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閥體highest溫度 |
≤ 120 °C |
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體制造：已廣泛應(yīng)用于刻蝕、CVD、薄膜沉積等核心工藝模塊，其無顆粒產(chǎn)生特性成為高潔凈度工藝的標(biāo)配。
真空鍍膜與科研領(lǐng)域：在真空系統(tǒng)中提供可靠隔離，支持從實驗室研發(fā)到量產(chǎn)線的全流程應(yīng)用。
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
