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產(chǎn)品介紹
Ichor Systems 生產(chǎn)全系列常規(guī)、模塊化隔膜閥、模塊化計量閥和止回閥，其性能和純度均達到或超過所有行業(yè)標準。我們的常規(guī)隔膜閥 (CDV) 系列可為常規(guī)安裝系統(tǒng)提供良好的可靠性和價值，而我們的模塊化隔膜閥 (MDV) 系列則專為模塊化表面安裝系統(tǒng)而設(shè)計。我們所有閥門的設(shè)計均符合 SEMI 規(guī)范，具有高可靠性和性能，并與市場上所有競爭系統(tǒng)兼容?？蛻繇毚_保所選部件是適合其防護性能的部件，同時考慮到氣體/流體輸送系統(tǒng)的材料兼容性、操作條件、正確安裝等。
性能特點
模塊化止回閥
1.125" C 型密封
3 端口，316L 不銹鋼 SEMI F20 VIM/VAR
更高純
選型指南
技術(shù)參數(shù)
| 產(chǎn)地 | 美國 |
| 工作壓力 | 3000 psig |
| 部件類型 | 模塊式止回閥 |
| 配置 | 中央 |
| 表面光潔度 | 5 ra |
| 工作溫度 | -28 至 200 ℃（20 至 400 ℉） |
| 彈簧材料 | elgiloy |
| 底座尺寸 | 1.125" |
| 密封類型 | C-密封 |
| 端口數(shù)量 | 3-端口 |
| 閥體材料 | 316l SST semi f20 vim/var |
| 純度等級 | 更高純 |
| 清洗方式 | 電拋光和鈍化 |
| 爆破壓力 | 12000 psig |
| 密封材料 | Viton |
產(chǎn)品尺寸
產(chǎn)品應(yīng)用
流體輸送、半導體、制造業(yè)、集成解決方案
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
