當(dāng)前所在位置: 首頁 > 產(chǎn)品首頁 > 液壓、氣動 > 閥門 > 控制閥/調(diào)節(jié)閥
產(chǎn)品介紹
61.3 HV蝶形控制閥具備卓絕的壓力控制性能。憑借其快速精細(xì)的動作控制器（響應(yīng)時間0.1秒），該閥門是化學(xué)氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）工藝精細(xì)控制的理想解決方案。閥板作為節(jié)流元件，可調(diào)節(jié)閥門開度的導(dǎo)通能力。61.3型閥門內(nèi)置的壓力控制器能快速計(jì)算所需閥板位置，以Fastest速度達(dá)到設(shè)定壓力。
該閥門專為含顆粒氣流的惡劣下游工藝設(shè)計(jì)，即使在高顆粒負(fù)荷和碎屑堆積條件下仍能保持全功能運(yùn)行。
61.3系列已在數(shù)千個嚴(yán)苛工藝條件下成功應(yīng)用，其卓絕可靠性經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證。憑借堅(jiān)固結(jié)構(gòu)、直裝選項(xiàng)及簡易維護(hù)特性，該系列產(chǎn)品整體滿足各類需求。
通過提供多種設(shè)計(jì)選項(xiàng)——包括閥體材質(zhì)、表面處理、彈性體材料、法蘭連接方式、特殊尺寸規(guī)格以及特殊控制算法（自適應(yīng)控制、固定PI下游控制/軟泵模式）——該系列產(chǎn)品可輕松集成至各類真空應(yīng)用場景。
61.3 HV蝶形控制閥提供鋁制或不銹鋼材質(zhì)，配備ISO-KF和ISO-F標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口。可集成客戶定制法蘭及特殊功能，例如帶保溫層的集成加熱器?？筛鶕?jù)需求提供多種FFKM/FKM彈性體（FKM為標(biāo)準(zhǔn)配置）。
性能特點(diǎn)
卓絕的壓力控制
極快的運(yùn)行速度
內(nèi)置軟件支持本地操作
在惡劣工藝條件下仍能可靠運(yùn)行
更優(yōu)的工藝可控性
高運(yùn)行時間/無限制性能
低運(yùn)營成本
產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與細(xì)節(jié)
技術(shù)參數(shù)
|
產(chǎn)地 |
瑞士 |
|
|
尺寸 |
DN 25 (1英寸) DN 40 (1½英寸), DN 50 (2英寸),DN 63 (2½英寸), DN 80 (3英寸), DN 100 (4英寸),DN 160 (6英寸), DN 200 (8英寸), DN 250 (10“)，DN 320 (12”) |
|
|
執(zhí)行機(jī)構(gòu) |
步進(jìn)電機(jī)集成控制器 |
|
|
主體材質(zhì) |
鋁或不銹鋼 |
|
|
標(biāo)準(zhǔn)法蘭 |
ISO-KF，ISO-F |
|
|
壓力范圍 |
1 × 10?? mbar 至 1.2 bar (abs) |
|
|
穿墻件 |
旋轉(zhuǎn)軸，直接驅(qū)動 |
|
|
安裝位置 |
任意（引薦軸位于泵側(cè)） |
|
|
閥體泄漏率 |
鋁制：< 1 × 10?? mbar·l/s |
|
|
不銹鋼：< 1 × 10?? mbar·l/s |
||
|
溫度 |
閥體：≤ 150 °C |
|
|
控制器：highest50°C（引薦≤ 35 °C） |
||
|
密封 |
穿墻件：FKM （其他材質(zhì)可定制） |
|
|
材質(zhì) |
閥體、閥板 |
鋁合金：EN AW-6082 (3.2315) |
|
不銹鋼：AISI 316L (1.4404 或 1.4435) |
||
|
軸 |
AISI 316L (1.4404 或 1.4435) |
|
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
刻蝕設(shè)備：在Cl?/HBr等離子體環(huán)境中快速切斷腐蝕性氣體，Al?O?鍍層蝶板與雙密封結(jié)構(gòu)確保長期耐腐蝕性。
原子層沉積（ALD）：超快響應(yīng)（＜30ms）匹配前驅(qū)體脈沖注入，漏率＜5×10?¹? mbar·l/s，保障薄膜純度。
離子注入機(jī)：無磁化鈦合金材質(zhì)避免束流干擾，XHV級密封維持真空環(huán)境穩(wěn)定。
科研真空系統(tǒng)
適用于高真空或ultra-high真空環(huán)境，如同步輻射光源、表面分析儀器等，提供穩(wěn)定可靠的真空隔離與控制。
光伏鍍膜
在真空鍍膜工藝中控制氣體流量，確保薄膜均勻性，適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)需求。
滬公網(wǎng)安備31011302006898號
